半導體廢氣處理
一、半導廢氣處理成份
半導體行業(yè)廢氣主要成分為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類成分:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等,酸堿類成分:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
二、行業(yè)排放標準
三、半導體廢氣處理方法
一般半導體行業(yè)針對廢氣處理的解決方案如下:
(1)預處理階段:采用噴淋塔先對廢進行預處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光解,生物過濾分解,焚燒和催化燃燒等。
由于每家企業(yè)具體產(chǎn)生的廢氣成分、風量大小、廢氣濃度不同,所以采用的半導體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結(jié)合使用,具體處理方案可以咨詢我們,我們將有工程師一對一為您定制廢氣處理方案。
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